Analysis on Silica Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor

  • 김교선
제목
Analysis on Silica Particle Growth in TEOS/O2 Plasma Reactor
저자
김교선
발행일
2003-10-24
학회명
Theories and Application of Chem. Eng., Annual Fall Meeting of KIChE
개최국가
대한민국
학회 개최일
2003-10-24 ~ 2003-10-24