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Low temperature ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitor

제목
Low temperature ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitor
저자
김시준
발행일
2022-07-12
학회명
DRAM Capacitor 미래 기술 포럼
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-07-12 ~ 2022-07-12

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