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Effects of various passivation dielectrics and vis reservoir lengths on stress and electromigration reliability of metal interconnects
- 제목
- Effects of various passivation dielectrics and vis reservoir lengths on stress and electromigration reliability of metal interconnects
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 2001-11
- 학회명
- MRS Proceedings
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2001-11 ~ 2001-11