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Ultra shallow P+n junction formation using the boron diffusion from epitaxial CoSi₂ film

  • 이성만
제목
Ultra shallow P+n junction formation using the boron diffusion from epitaxial CoSi₂ film
저자
이성만
발행일
1997-02-27
학회명
한국진공학회논문지
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-02-27 ~ 1997-02-27

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