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Defect-Free Doping on Graphene Using Horizontal Inductively Coupled Plasma System
- 정구환;
- 이병주;
- 조성일
- 제목
- Defect-Free Doping on Graphene Using Horizontal Inductively Coupled Plasma System
- 저자
- 정구환; 이병주; 조성일
- 발행일
- 2018-07-24
- 학회명
- The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2018)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2018-07-24 ~ 2018-07-28