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Transmission electron microscopy analysis of interfacial layers in Ti/Ta/Al ohmic contacts to n-AlGaN
- 제목
- Transmission electron microscopy analysis of interfacial layers in Ti/Ta/Al ohmic contacts to n-AlGaN
- 저자
- 임성환
- 발행일
- 2002-03
- 학회명
- Eighth Conference on Frontiers of Electron Microscopy in Materials Science
- 개최국가
- 일본
- 학회 개최일
- 2002-03 ~ 2002-03