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A study on the effect of top electrode replacement for controlling the ferroelectric properties of (Hf,Zr)O2 thin films
- 김시준;
- 이승빈;
- 정준탁;
- 최예서;
- 박혜련;
- 외 4명
- 제목
- A study on the effect of top electrode replacement for controlling the ferroelectric properties of (Hf,Zr)O2 thin films
- 저자
- 김시준; 이승빈; 정준탁; 최예서; 박혜련; 박성빈; 강종묵; Jiyoung Kim; Jin-Hyun Kim
- 발행일
- 2023-06-21
- 학회명
- 2023 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-06-21 ~ 2023-06-23