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수평형 유도결합 플라즈마를 이용한 그래핀의 질소 도핑에 대한 연구
A Study on Nitrogen Doping of Graphene Based on Optical Diagnosis of Horizontal Inductively Coupled Plasma
- 조성일;
- 정구환
초록
In this study, optical diagnosis of plasma was performed for nitrogen doping in graphene using a horizontal inductively coupled plasma (ICP) system.
키워드
Graphene; Defect-suppressed doping; Inductively coupled plasma; Optical emission spectroscopy; Electron excitation temperature
- 제목
- 수평형 유도결합 플라즈마를 이용한 그래핀의 질소 도핑에 대한 연구
- 제목 (타언어)
- A Study on Nitrogen Doping of Graphene Based on Optical Diagnosis of Horizontal Inductively Coupled Plasma
- 저자
- 조성일; 정구환
- 발행일
- 2021-12
- 유형
- Y
- 저널명
- 한국표면공학회지
- 권
- 54
- 호
- 6
- 페이지
- 348 ~ 356