Pore formation in porous silicon prepared using prehydrogenated silicon substrates

  • 윤종환
  • 정윤진
제목
Pore formation in porous silicon prepared using prehydrogenated silicon substrates
저자
윤종환정윤진
발행일
2007-12-12
학회명
5th Int'l Conf. on Advanced Materials and Devices
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-12-12 ~ 2007-12-12