ICP 반응기에서의 TiO2 박막 코팅

  • 김교선
  • 강진이
  • 김동주
제목
ICP 반응기에서의 TiO2 박막 코팅
저자
김교선강진이김동주
발행일
2007-10-26
학회명
한국화학공학회 추계 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-10-26 ~ 2007-10-26