Analysis on TiO2 Thin Film Growth onto Particles in Rotating Plasma Chemical Vapor Deposition Process

  • 김교선
  • 김동주
  • 팜흥크엉
제목
Analysis on TiO2 Thin Film Growth onto Particles in Rotating Plasma Chemical Vapor Deposition Process
저자
김교선김동주팜흥크엉
발행일
2009-10-15
학회명
한국공업화학회 추계 학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-10-15 ~ 2010-10-16