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펄스 SiH4 플라즈마 공정에서의 입자 성장에 대한 공정변수의 영양

김교선;
박정훈;
강진이;
김동주

제목: 펄스 SiH4 플라즈마 공정에서의 입자 성장에 대한 공정변수의 영양

저자: 김교선; 박정훈; 강진이; 김동주

발행일: 2006-10-27

학회명: 한국화학공학회 추계학술발표회

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2006-10-27 ~ 2006-10-27