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Oxidation of silicon using rapid thermal processing with remote plasma
- 제목
- Oxidation of silicon using rapid thermal processing with remote plasma
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 2005-09-26
- 학회명
- The 3rd Symposium on Nano Chemical Processing
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2005-09-26 ~ 2005-09-26