Fabrication of Hemispherical Nanodot Arrays Using Local Oxidation of Silicon by Electric Field Concentration

제목
Fabrication of Hemispherical Nanodot Arrays Using Local Oxidation of Silicon by Electric Field Concentration
저자
김병희서영호신홍규박용민강명
발행일
2010-08-17
학회명
NANO KOREA 2010
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-08-17 ~ 2010-08-20