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자기베어링으로 직선운동 테이블의 초정밀 위치 제어

제목
자기베어링으로 직선운동 테이블의 초정밀 위치 제어
저자
장인배
발행일
1997-01
학회명
정밀기계설계공동연구소 연구보고
개최국가
대한민국
학회 개최일
1997-01 ~ 1997-01

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