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Formation of Voids and its influence on the thermal stability of Co silicide
- 제목
- Formation of Voids and its influence on the thermal stability of Co silicide
- 저자
- 이원규
- 발행일
- 2001-10
- 학회명
- 48th Americal Society(AVS), National Symposium
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2001-10 ~ 2001-10