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Low-temperature (300°C) ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors using high-pressure annealing
- 김시준;
- 박혜련;
- 김효정;
- 유정규;
- Yong Chan Jung;
- 외 7명
- 제목
- Low-temperature (300°C) ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors using high-pressure annealing
- 저자
- 김시준; 박혜련; 김효정; 유정규; Yong Chan Jung; Harrison Sejoon Kim; Jiyoung Kim; Jaidah Mohan; Jin-Hyun Kim; 노성민; 김민성; 김현재
- 발행일
- 2021-09-20
- 학회명
- European Material Research Society (E-MRS) 2021 Fall Meeting
- 개최국가
- 폴란드
- 학회 개최일
- 2021-09-20 ~ 2021-09-23