Analysis of chlorine-induced threshold voltage instability in IGZO TFTs

  • 김시준; 
  • 김예찬; 
  • 이승빈; 
  • 민현홍; 
  • 장광현; 
  • 외 1명
제목
Analysis of chlorine-induced threshold voltage instability in IGZO TFTs
저자
김시준; 김예찬; 이승빈; 민현홍; 장광현; 나재원
발행일
2026-01-27
학회명
한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
개최국가
대한민국
학회 개최일
2026-01-27 ~ 2026-01-30