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기판 본딩 장치

장인배

제목: 기판 본딩 장치

저자: 장인배

발행일: 2024-12-13

출원번호: 10-2019-0122155

등록번호: 10-2744383

출원일: 2019-10-02

등록일: 2024-12-13

지식재산권 유형: 특허

양수인: 강원대학교 산학협력단, 삼성전자 주식회사