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실리콘 나노홀 어레이 제작을 위한 식각마스크용 알루미늄 나노패턴

제목
실리콘 나노홀 어레이 제작을 위한 식각마스크용 알루미늄 나노패턴
저자
김병희; 서영호; 신홍규; 박용민; 강명
발행일
2010-04-13
학회명
한국공작기계학회 2010 춘계학술대회 논문집
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-04-13 ~ 2010-04-18

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