Top electrode engineering for controlling ferroelectric properties of ALD-HZO thin films

  • 김시준
  • 이호민
  • 송민섭
  • 이승빈
  • 민현홍
  • 외 1명
제목
Top electrode engineering for controlling ferroelectric properties of ALD-HZO thin films
저자
김시준이호민송민섭이승빈민현홍장광현
발행일
2025-07-09
학회명
International Technical Conference on Circuits/Systems, Computers, and Communications (ITC-CSCC) 2025
개최국가
대한민국
학회 개최일
2025-07-09 ~ 2025-07-09