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Top electrode engineering for controlling ferroelectric properties of ALD-HZO thin films
- 김시준;
- 이호민;
- 송민섭;
- 이승빈;
- 민현홍;
- 외 1명
- 제목
- Top electrode engineering for controlling ferroelectric properties of ALD-HZO thin films
- 저자
- 김시준; 이호민; 송민섭; 이승빈; 민현홍; 장광현
- 발행일
- 2025-07-09
- 학회명
- International Technical Conference on Circuits/Systems, Computers, and Communications (ITC-CSCC) 2025
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2025-07-09 ~ 2025-07-09