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A study on wafer-scale characterization of ALD-HZO thin films using a combinatorial approach
- 김시준;
- 민현홍;
- 장광현;
- 김재훈;
- 이호민;
- 외 3명
- 제목
- A study on wafer-scale characterization of ALD-HZO thin films using a combinatorial approach
- 저자
- 김시준; 민현홍; 장광현; 김재훈; 이호민; 송민섭; 강종묵; 이승빈
- 발행일
- 2025-02-12
- 학회명
- 한국반도체학술대회 (The Korean Conference on Semiconductors (KCS))
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2025-02-12 ~ 2025-02-14