이원규

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2009

Article

Notching phenomena of silicon gate electrode in plasma etching process

Lee, Won Gyux

2009
공업화학

2008

Conference

저유전율 박막을 채택한 구리배선공정에서의 식각 후처리용 수계 세정액

이원규

2008-11-14
대한민국

Conference

상압플라즈마 처리에 의한 PMMA의 표면처리

이원규 ;
김태경 ;
김도현 ;
고천광

2008-10-22
대한민국

Conference

반도체부품 세정을 위한 TiN 박막제거에 관한 연구

이원규 ;
김미희 ;
박세진 ;
원동수

2008-10-22
대한민국

Conference

용액에 포함된 Amine과 Carboxyl group의 Cu 식각 잔유물 제거 특성

이원규 ;
손향호 ;
고천광 ;
김아름

2008-10-22
대한민국

Conference

Silicon Oxidation bt Active Oxygen Species Generated from Photo-catalyst Surface

이원규 ;
고천광

2008-10-12
미국

Conference

Novel Formation of Zironium Titanate from Multi-layered Structue of ZrO2 and Tio2 deposited by PRTCVD

이원규

2008-10-12
미국

Article

Silicon oxidation by aerial diffusion of active oxygen species from UV-irradiated TiO2

Ko, Cheon-Kwang ;
Lee, Won Gyu

2008-07
Korean Journal of Chemical Engineering
KOREAN INSTITUTE CHEMICAL ENGINEERS

Conference

Surface modification of polymer mateials by a glow discharge

이원규 ;
고천광

2008-06-29
아일랜드

Conference

Formation of zirconium titanate from multi-layered structure of ZrO2 and TiO2 deposited by pulsed rapid thermal chemical vapor deposition

이원규

2008-05-27
이집트

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이원규

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Notching phenomena of silicon gate electrode in plasma etching process

저유전율 박막을 채택한 구리배선공정에서의 식각 후처리용 수계 세정액

상압플라즈마 처리에 의한 PMMA의 표면처리

반도체부품 세정을 위한 TiN 박막제거에 관한 연구

용액에 포함된 Amine과 Carboxyl group의 Cu 식각 잔유물 제거 특성

Silicon Oxidation bt Active Oxygen Species Generated from Photo-catalyst Surface

Novel Formation of Zironium Titanate from Multi-layered Structue of ZrO2 and Tio2 deposited by PRTCVD

Silicon oxidation by aerial diffusion of active oxygen species from UV-irradiated TiO2

Surface modification of polymer mateials by a glow discharge

Formation of zirconium titanate from multi-layered structure of ZrO2 and TiO2 deposited by pulsed rapid thermal chemical vapor deposition