이원규

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2007

Conference

Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성

이원규

2007-04-19
대한민국

2006

Patent

광촉매 활성을 이용한 반도체 소자의 산화막 형성 방법

이원규

2006-10-31

Article

Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석

이원규 ;
고천광

2006-10
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK)
한국화학공학회

Conference

Characterization of ZrxTi(1-x)O₂thin film prepared by interdiffusion of stacked multilayer

이원규

2006-08-26
대한민국

Conference

저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및 물성분석

이원규

2006-04-20
대한민국

Conference

Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석

이원규

2006-04-20
대한민국

2005

Conference

적층형구조로부터 상호확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성분석

이원규 ;
함성식 ;
이진욱

2005-10-21
대한민국

Conference

플라즈마 반응가스에 따른 유기오염물 제거 효율성 및 특성 분석

이원규

2005-10-21
대한민국

Conference

저온산화공정에 의한 실리콘 산화막 제조 및 물성분석

이원규

2005-10-21
대한민국

Conference

Oxidation of silicon using rapid thermal processing with remote plasma

이원규

2005-09-26
대한민국

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이원규

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Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성

광촉매 활성을 이용한 반도체 소자의 산화막 형성 방법

Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석

Characterization of ZrxTi(1-x)O₂thin film prepared by interdiffusion of stacked multilayer

저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및 물성분석

Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석

적층형구조로부터 상호확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성분석

플라즈마 반응가스에 따른 유기오염물 제거 효율성 및 특성 분석

저온산화공정에 의한 실리콘 산화막 제조 및 물성분석

Oxidation of silicon using rapid thermal processing with remote plasma