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발행연도
1991 ~ 2026
1991 2026
키워드
언어
전체 281건 중 201번부터 210번까지의 결과를 표시합니다.
2008
Conference
The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection
- 이원규 ;
- 고천광
- 2008-04-23
- 대한민국
Conference
Removal of organic residue on glass substrates using an atmospheric pressure plasma
- 이원규 ;
- 김태경 ;
- 박세진 ;
- 고천광
- 2008-04-23
- 대한민국
Article
저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조
- 이원규 ;
- 고천광
- 2008-04
- Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK)
- 한국화학공학회
Article
Preparation of ferroelectric PZT thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition using metalorganic precursors
- Lee, Won Gyu ;
- Kwon, Yong Jung
- 2008-01
- Journal of Industrial and Engineering Chemistry
- ELSEVIER SCIENCE INC
Article
Low temperature growth of silicon oxide thin film by in-direct contacting process with photocatalytic TiO2 layer on fused silica
- Ko, Cheonkwang ;
- Lee, Won Gyux
- 2008
- 공업화학
2007
Article
PRTMOCVD 법을 통한 단성분계 산화막의 적층형 구조로부터 Zirconium Titanate 박막의 제조
- 이원규 ;
- 송병윤 ;
- 권영중
- 2007-08
- Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK)
- 한국화학공학회
Conference
A study on post-etch cleaning chemistries for advanced copper metallization
- 2007-05-07
- 대한민국