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이원규

Lee, Won Gyu

춘천캠퍼스

대학

문화예술·공과대학

화공·생물공학부

Scopus ORCID

연구분야

  • 반도체공정, 
  • 상압플라즈마공정, 
  • 표면세정공정

자료 필터

자료유형

발행연도

1991 ~ 2026
1991 2026

키워드

언어

전체 281건 중 241번부터 250번까지의 결과를 표시합니다.

2004
Article

High-performance and low-cost 0.15-μm nMOSFETs using simultaneous N-gate and source/drain doping process

  • Cha, HS ; 
  • Lee, WG ; 
  • Heo, SB ; 
  • Ryu, HH ; 
  • Lee, JG ; 
  • 외 2명
  • 2004-01
  • IEEE Transactions on Electron Devices
  • IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
2003
Article

Formation of tungsten oxide defects during tungsten CMP

  • 2003
  • Electrochemical and Solid-State Letters
Article

Preparation of PbZrO3 thin films by plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition

  • 2003
  • Journal of Materials Science Letters
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