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발행연도
2013 ~ 2026
2013 2026
키워드
언어
전체 158건 중 41번부터 50번까지의 결과를 표시합니다.
2024
Conference
High-k ALD-(Hf,Zr)O2 thin films with morphotropic phase boundary toward next-generation DRAM technology
- 김시준 ;
- 민현홍 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 이승빈
- 2024-06-25
- 대한민국
Conference
A study on low-temperature (<400℃) process of ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films using H2O2 as oxygen source
- 김시준 ;
- 김재훈 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 이승빈 ;
- 외 2명
- 2024-06-25
- 대한민국
Conference
Cryogenic characterization of ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films sandwiched between TiN or W electrodes
- 김시준 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 최예서 ;
- 이승빈 ;
- 외 3명
- 2024-06-25
- 대한민국
Conference
A study on crystallization behaviors of low-temperature (<400℃) ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films using JMAK model
- 김시준 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 이승빈 ;
- Jin-Hyun Kim ;
- 외 2명
- 2024-06-24
- 대한민국
Conference
BEOL compatible ultra-low operating voltage (0.5 V) and preconfigured switching polarization states in effective 3 nm ferroelectric HZO capacitors
- 김시준 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- Minjong Lee ;
- Jin-Hyun Kim ;
- 외 9명
- 2024-06-20
- 미국
Article
Analysis of ferroelectric properties of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films according to oxygen sources
- Lee, Seungbin ;
- Jung, Yong Chan ;
- Park, Hye Ryeon ;
- Park, Seongbin ;
- Kang, Jongmug ;
- ... Kim, Si Joon ;
- 외 6명
- 2024-06
- Solid-State Electronics
- PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
Conference
Investigation of ferroelectric properties of ALD-(Hf,Zr)O2 thin films from cryogenic to room temperatures
- 김시준 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 외 1명
- 2024-01-24
- 대한민국
Conference
A study on the equivalent oxide thickness of Hf1-XZrXO2 thin films for next-generation DRAM applications
- 김시준 ;
- 이승빈 ;
- 민현홍 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 외 3명
- 2024-01-24
- 대한민국
Conference
Analysis of hydrogen effect on ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films during atomic layer deposition process
- 김시준 ;
- 이승빈 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 외 5명
- 2024-01-24
- 대한민국
Conference
A study on low-temperature (<400°C) furnace annealing for BEOL compatible ferroelectric ALD-(Hf,Zr)O2 thin films
- 김시준 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- 정준탁 ;
- 외 4명
- 2024-01-24
- 대한민국