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발행연도
2013 ~ 2026
2013 2026
키워드
언어
전체 158건 중 61번부터 70번까지의 결과를 표시합니다.
2023
Conference
Influence of oxygen source on ferroelectricity of ALD-Hf0.5Zr0.5O2 thin films with and without capping layer
- 김시준 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- Jin-Hyun Kim ;
- 외 2명
- 2023-07-23
- 미국
Conference
A study on improved ferroelectricity by (Hf,Zr)O2 crystallization using fast ramp-up rate
- 김시준 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- Jiyoung Kim ;
- 외 1명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
A study on the ferroelectric properties of ALD-(Hf,Zr)O2 thin films annealed without capping layer depending on the oxygen source
- 김시준 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- Jin-Hyun Kim ;
- 외 1명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
A study on the ferroelectric properties of (Hf,Zr)O2 thin films using various annealing methods
- 김시준 ;
- 이승빈 ;
- 정준탁 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 외 4명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
A study on BEOL-compatible low-temperature ferroelectric (Hf,Zr)O2 films with high endurance
- 김시준 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- 강종묵 ;
- Jin-Hyun Kim ;
- 외 1명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
A study on the effect of top electrode replacement for controlling the ferroelectric properties of (Hf,Zr)O2 thin films
- 김시준 ;
- 이승빈 ;
- 정준탁 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 외 4명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
A study on cryogenic characterization of ferroelectric (Hf,Zr)O2 thin films
- 김시준 ;
- 이승빈 ;
- 정준탁 ;
- 최예서 ;
- 박혜련 ;
- 외 4명
- 2023-06-21
- 대한민국
Conference
Strategy for low temperature HZO ferroelectric capacitors for back-end of line applications
- 김시준 ;
- Jin-Hyun Kim ;
- Minjong Lee ;
- Seojun Lee ;
- Yong Chan Jung ;
- 외 3명
- 2023-03-07
- 대한민국
Conference
A study on the thermal budget of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors for next-generation memory applications
- 김시준 ;
- 조민관 ;
- 공태호 ;
- 이승빈 ;
- 유정규 ;
- 외 9명
- 2023-03-07
- 대한민국
Conference
Low-temperature ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 device for BEOL integration
- 김시준 ;
- 유정규 ;
- 박혜련 ;
- 박성빈 ;
- Yong Chan Jung ;
- 외 1명
- 2023-02-13
- 대한민국